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哪款“白光輪廓儀”適合您?

日期:2020-12-27 17:19
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摘要: ZYGO 3D 白光幹涉輪廓儀,能夠以優於納米級的分辨率,非接觸測量樣品表麵形貌。白光輪廓儀廣泛應用於光學,半導體,材料,精密機械等等領域,用於表麵形貌紋理,微觀結構分析。 ZYGO 有三個型號標準白光幹涉輪廓儀,Zegage,NewView,Nexview,它們設計理念各有不同,配合各類附件,能良好滿足各種場景,各類環境下的不同應用需求。 ZYGO 白光輪廓儀的共有特點和優勢: · ZYGO SureScan™大幅減小了環境振動的影響;還可以降低高精度量測時的噪聲,提高超光...

ZYGO 3D 白光幹涉輪廓儀,能夠以優於納米級的分辨率,非接觸測量樣品表麵形貌。白光輪廓儀廣泛應用於光學,半導體,材料,精密機械等等領域,用於表麵形貌紋理,微觀結構分析。

    ZYGO 有三個型號標準白光幹涉輪廓儀,Zegage,NewView,Nexview,它們設計理念各有不同,配合各類附件,能良好滿足各種場景,各類環境下的不同應用需求。


ZYGO 白光輪廓儀的共有特點和優勢:


·              ZYGO SureScan™大幅減小了環境振動的影響;還可以降低高精度量測時的噪聲,提高超光滑表麵的測試精度。


·              ZYGO SmartSetup™,自動對焦樣品表麵,自動智能配置測試參數,使原來麻煩的“找條紋”, “選擇測試參數”過程,在一分鍾之內,自動完成


·              ZYGO全係列白光輪廓儀,都包括自動防撞功能,”心細如發“,“一觸即止”,能*大程度保護樣品和設備的安全。

基於以上ZYGO共有的功能,每一款白光輪廓儀又有什麽自己的特點呢?今日小Z就和各位親聊聊:


如何選擇ZYGO白光輪廓儀

ZeGage™係列


1.6K*1.2K像素,1X光學縮放,

SureScan™采樣;

可選手動調整,或3軸(Z,XY平移)自動調整樣品台;

表麵形貌重複性(STR);

ZeGage™Pro     3.5nm

ZeGage™Pro HR  0.15nm


ZeGage™桌麵型光學輪廓儀,結構緊湊,穩定可靠。它采用一體化結構設計,配合ZYGO SureScan™抗振采樣模式,可以無需氣浮抗振台,直接置於桌麵,在生產環境中量測。


·              ZeGage™ 係列有兩種型號,都具有較高性價比。ZeGage™Pro表麵形貌重複性(STR) 3.5nm,適用於精密機械,材料學,摩擦磨損等納米級測量;ZeGage™Pro HR表麵形貌重複性(STR) 0.15nm,可以量測亞納米級超光滑表麵。


·              ZeGage™可選增高架構,用於測量更大尺寸的樣品;還可以選用3軸(Z,Tip/Tilt傾斜俯仰)自動調整樣品台,具有拚接測量及一定編程自動化測量的能力。

Newview™9000


1.6K*1.2K,0.5X,1X, 2X 目鏡;

CSI, SureScan™, SmartPSI采樣;

可選手動調整,或5軸(Z,XY平移,Tip/Tilt傾斜俯仰)自動調整樣品台;

手動孔徑光闌,及視場光闌;

Newview 表麵形貌重複性(STR) 0.08nm


Newview™9000是ZYGO應用*廣的高性能光學輪廓儀,配合豐富的配置及附件,滿足多樣化應用需求。


·              Newview™9000 150um範圍使用壓電陶瓷閉環掃描,表麵形貌重複性(STR) 0.08nm,可以滿足苛刻的超光滑表麵測試需要。


·              Newview™9000光學係統包括孔徑光闌,及視場光闌;可優化光學成像質量,適用於不同樣品表麵紋理和微結構。


·              Newview™9000采用分立龍門架構,可以通過標準墊塊附件,抬高測試頭,來測試超大超高樣品。


·              Newview™9000可選5維全自動樣品台,配合ZYGO腳本編程工具,自主開發工業自動化測試流程。

Nexview™  NX2 


1.6K*1.2K,0.5X,1X, 2X目鏡;

CSI, SureScan™, SmartPSI采樣;

標配5軸(Z,XY平移,Tip/Tilt傾斜俯仰)自動調整樣品台;

全自動孔徑光闌,及視場光闌調整;

Nexview™  NX2  表麵形貌重複性(STR) 0.06nm

Ture Color樣品表麵彩色3D形貌測量


Nexview™  NX2是ZYGO光學輪廓儀係列中,測試精度*高,功能*全,整機完全自動化的型號;NX2專為*挑戰應用設計製造。


·              Nexview™  NX2 150um範圍使用壓電陶瓷閉環掃麵,表麵形貌重複性(STR) 0.06nm,是ZYGO光學性能,噪聲係數*優的型號,可以滿足*苛刻的埃級超光滑表麵測試需要。


·              Nexview™  NX2覆蓋了其它ZYGO白光輪廓儀的所有功能;此外還獨有Ture Color樣品表麵彩色3D形貌測量能力。


·              Nexview™  NX2同樣采用分立龍門架構,可以通過標準墊塊附件,抬高測試頭來測試超高樣品。


·              Nexview™  NX2實現了整機完全自動化,從塔台,樣品台,到光學係統光闌控製,全部軟件可編程;配合ZYGO腳本編程工具,Nexview™  NX2可以實現完全自動化測試。